此前有消息稱由於先進工藝產能過剩，台積電計劃今年底將部分EUV光刻機關機，以便節省電費支出，台積電日前也回應了，表示不評論市場傳聞。台積電稱，本公司針對機台設備皆有年度規劃，並依循計劃，在不影響正常營運的前提下，進行例行維護與升級。
上周來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱，由於先進製程產能利用率開始下滑，而且評估之後下滑時間會持續一段周期，台積電計劃從年底開始，將部分EUV 設備關機，以節省EUV設備巨大的耗電支出。
據了解台積電目前擁有大約80台EUV光刻機，主要用於7nm、5nm及以下的先進工藝，今年9月份還會量產3nm工藝，都需要EUV光刻機，然而隨着PC、手機、顯卡等產品的需求下滑，先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。
相比之前的DUV光刻機，EUV光刻機需要使用高能激光器，而且光線會多次折射導致損耗極大，早期效率只有0.02%，現在量產的說是可以達到2%效率，但也意味着絕大多數電力都要消耗掉。
EUV光刻機生產一天需要3萬度電左右，一年耗電大約1000萬度，是十足的電老虎。
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