國產光刻機“第一股”仍未誕生。投資界獲悉，今日（7月29日）華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首發上會，而最新結果出爐——暫緩審議。上市委現場詢問要求發行人代表說明光刻機雙工件台業務產業化前景；進一步說明發行人技術研發是否對清華大學構成重大依賴，發行人是否具備持續的自主研發能力。
華卓精科的掌舵者，是一位60后清華教授——朱煜。1979年，14歲的朱煜考上了北京師範大學，18歲在中國礦業大學擔任講師。2001年，朱煜到清華大學進修博士后，開始了有關光刻機的研究工作。隨後十餘年間，他一邊在清華任教，一邊帶領着團隊一納米一納米地攻克技術難關，期間多次面臨經費緊張的囧境。2012年，朱煜帶着團隊走出象牙塔，成立了華卓精科。
9年磨一劍。如今華卓精科生產的光刻機雙工件台，打破了荷蘭 ASML公司在光刻機工件台上的技術壟斷，成為世界唯二掌握雙工件台核心技術的公司。站在背後的投資方，也具有濃厚的清華色彩——種子輪投資方且最大機構股東水木創投是清華大學下設的產業化投資管理平台。
光刻機歷來被譽為“半導體皇冠上的明珠”，甚至圈內流傳一則感嘆：光刻機比原子彈還難造。如今國產光刻機仍處於被“卡脖子”的狀態，所有人都在期待着一個里程碑式的突破。
56歲清華教授：9年做了一家公司，衝刺科創板IPO
華卓精科的故事要從一位清華教授說起。
上世紀70年代，1965年出生的朱煜乘着高考恢復的東風，成功考入了北京師範大學。大學畢業后，他便進入中國礦業大學擔任講師。此後一段時間，他在準備日常教學任務的同時，還在中國礦業大學拿到了碩士和博士學位。
而後，朱煜進入清華大學製造工程研究所進修博士后。2001年，荷蘭半導體設備製造商ASML企業首次推出了雙工件台系統，開創了先河。一次偶然機會，朱煜目睹ASML雙工件台的展示視頻，大受震撼，“我下意識地對自己說，這就是我想要做的，中國必須掌握這樣的尖端技術。”自此，他的人工軌跡便與半導體芯片核心設備——光刻機行業發展交織在一起。
隨後，朱煜和團隊開始了光刻機的研發。2002年，他們取得第一項雙工件台專利；2004年，他加入清華大學精儀系，任職副教授。同年，他們團隊研製出了10納米同步精度的超精密運動平台。
但困難很快出現了：2004年到2008年，團隊缺乏研究經費，研究幾度陷入停頓。期間，朱煜為了保證研發項目繼續研發，做了多方嘗試。
2006年，集成電路裝備正式被列入國家16個科技重大專項，由於被列在第二個，業內稱之為“02專項”。當時，朱煜和他的團隊積极參与到國家舉辦的“02專項”光刻機項目。奈何，該項目落地實施耗時很長，科研經費不能馬上到賬。於是，朱煜曾向清華大學借款700萬，以保證研發工作的繼續。
三年後，“02專項”正式實施落地，拿到科研經費的他們便全身心投入到雙工件台的研發工作中。到了2012年，在清華大學的支持下，朱煜等8位清華大學IC製造裝備研究室核心成員走出實驗室，創辦了華卓有限，即華卓精科的前身。
創業之初，技術研發仍是朱煜團隊的頭等大事。那段時間，創始團隊的主力成員輪番上陣，實驗室中晝夜無休。終於在2016年，華卓精科研製成功兩套α樣機，並成為光刻機項目群中首個通過02專項驗收的項目。華卓精科成為國內首家可自主研發並實現商業化生產的光刻機雙工件台供應商。
2018年，朱煜曾公開表示，華卓精科生產的雙工件台打破ASML在工件台上的技術壟斷。華卓精科是世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司，更是全球唯一一家能夠單獨供應工件台的公司。
成立9年的時間裡，華卓精科曾登陸過新三板，直到2019年2月終止。2020年6月24日，上交所科創板正式受理了華卓精科的上市申請，並於今日（7月29日）到科創板IPO上會，接受上市委的審議。
最新消息，科創板上市委員會給了暫緩審議意見：請發行人結合光刻機雙工件台業務尚未實現產業化的情況，說明發行人申報期內的主要業務是否符合科創板定位和發行上市條件，光刻機雙工件台業務及02專項相關信息披露是否符合國家法律法規規定和科創板發行上市信息披露要求。請保薦人和其他中介機構發表明確意見。
招股書背後：“光刻機第一股”跑出來有多難？
雖然此次華卓精科衝刺A股“光刻機第一股”，但公司並不能直接生產光刻機整機。
官網顯示，華卓精科主營業務為集成電路製造裝備及關鍵零部件的研發和產業化。目前產品包括光刻機雙工件台及其衍生產品超精密運動平台、激光退火設備、晶圓鍵合設備等整機設備及半導體關鍵零部件，主要應用於集成電路芯片製造、先進封裝、功率器件製造等產線。總而言之，華卓精科的產品是光刻機所需的關鍵零部件。
在芯片製造中，光刻機是技術難度最高、最關鍵的設備之一。一顆芯片上布滿了數以十億記的晶體管與電路，而光刻機想要在方寸大小的芯片上刻出每一條線路、每一個晶體管的位置，需要投影物鏡和光源和工件台系統及運動控制技術的配合，其中工件台成本佔到整個光刻機成本的10%-20%。
業績情況如何？招股書顯示，2018至2020年，華卓精科分別實現營收8570.92萬元、1.21億元、1.52億元。可見，公司營業收入規模快速擴張，公司2019 年度營業收入增幅41.14%，2020 年度營業收入增幅25.94%。
值得注意的是，華卓精科營收的主要來源並不是“工件台”，而是精密運動系統。精密運動系統更是是一個動力裝備，主要功能幫助零部件實現精密運動或定位。數據顯示，2018年-2020年，該公司精密運動系統及技術開發業務收入分別為 6526.26 萬元、7997.78 萬元和 9655.11萬元，占同期主營業務收入的比例分別為76.14%、66.12%和63.47%。
在精密運動系統領域，華卓精科的產品進入了中科飛測、中山新諾、長光華大等各個領域龍頭企業的供應鏈，同時為中科大、南京大學、暨南大學等多所高校和科研機構提供產品和技術服務。
而光刻機雙工件台、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等其他產品還處於商業化初期，規模化產品銷售。其中，光刻機雙工件台的客戶極為單一。目前國內客戶僅有上海微電子有該類產品採購需求。現階段，華卓精科DWS系列光刻機雙工件累計發貨4台，仍處於小批量定製生產階段，尚未實現規模化量產。同時，其晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產品還與上海微電子存在競爭。
這種高精尖的技術，往往需要長期消耗大量資金。據招股書披露數據，2018年-2020年，華卓精科研發投入1374.99萬元、1741.59萬元、2137.09萬元。實際上，政府補助會沖減一部分研發費用。2018年-2020年，沖減研發費用分別為6881.58萬元、12440.25萬元、17349.07萬元。如此計算，華卓精科每年將燒掉上億元研發經費。
揭秘背後融資歷程：清華系撐起中國半導體半壁江山
華卓精科背後出現一眾VC/PE的身影。
據投資界不完全統計，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資，其中在公司掛牌新三板期間，共實施了5次定向增發，合計定增募資總額約為1.42億元。背後的投資陣容囊括了水木創投、中金公司、大華大陸投資、渾璞投資、紅星美凱龍、國家集成電路產業投資基金(下稱“國家大基金”)等一線機構的身影。
回顧融資歷程，華卓精科的啟動資金恰恰來自於“自己人”。天眼查APP顯示，2012年9月，華卓精科完成了種子輪融資，投資方為水木創投。這家VC是清華工業開發研究院旗下設立的科技成果產業化投資管理平台，其核心理念便是以市場需求為導向，整合清華大學的智力、政府和市場資源，專註清華科技成果產業化實踐和展望。值得一提的是，水木創投管理合伙人吳勇，同時擔任華卓精科董事長一職。
2015年5月，華卓精科完成了500萬元A輪融資，投資方為中海投資與中關村海淀園創業服務中心。資料顯示，兩家機構均由中關村科技園區海淀園管委會發起設立。
隨後在2018年10月，華卓精科又獲得了一輪8700萬元的戰略融資，引入了中金公司、紅星美凱龍、渾璞投資作為股東。同年11月，紅星美凱龍及渾璞投資又參與了華卓精科的價值7587.50萬元的定向增發。接連完成的這兩筆融資，為接下來華卓精科新三板退市，衝刺科創板IPO奠定了基礎。
緊接着，國家大基金也出手了。先是在2019年1月，國家大基金為LP之一的上海裝備材料基金，參與了華卓精科的新一輪定向增發；同年3月，國家大基金聯手祥暉資本、中麗基金共同完成了對華卓精科的B輪融資。
招股書顯示，IPO后，華卓精科創始人朱煜持股26.79%為第一大股東；水木創投為最大機構股東，總計持股11.65%；渾璞投資與中金公司分別持股4.43%、2.30%，位列機構股東第二、三位。
誕生於清華園內的華卓精科，可謂是清華系半導體創業者的一縷縮影。在這座百年學府，已走出國內半導體產業的眾多重要人物。
1977年，陳大同進入清華大學無線電電子學系學習，是同屆唯一一名學習半導體專業的學生。抱着從國外學習先進技術，回國振興半導體集成電路產業的願望，當年陳大同等一群人遠赴海外深度研究。
2000年回國后，陳大同發現中國半導體集成電路產業幾乎退回了初始狀態，便攜手清華同盟武平等聯合創辦了展訊通信，決心通過創業推動中國半導體集成電路產業實現“鳳凰涅槃”。在這一列隊中還有中芯國際董事長趙海軍、華大半導體總經理童浩然等。
多年後，一個極富傳奇色彩的班級誕生了——EE85班，一眾芯片大佬從這裡走出。今年年初，EE85班的韋爾股份創始人虞仁榮捐資在家鄉寧波創辦了一所理工類新型研究型大學。這一隱秘而偉大的班級集體里，還有趙偉國、兆易創新創始人之一舒清明、卓勝微電子聯合創始人馮晨暉、格科微電子創始人趙立新、燧原科技創始人趙立東等知名芯片企業家的身影。這群清華學子，幾乎撐起了中國半導體的半壁江山。
華為也來了：為了國產光刻機，大家拼了
攻克光刻機，成為當下國內半導體產業刻不容緩的任務。
光刻機被譽為“半導體皇冠上的明珠”，是半導體產業中最關鍵設備。光刻工藝決定了半導體線路的線寬，同時也決定了芯片的性能和功耗。可以說，光刻機賦予了芯片“生命”。正因如此，在當前“缺芯危機”的影響下，國內在高端芯片生產製造環節的短板被再度放大。
外界歷來有一個疑問：“為什麼中國連原子彈都可以造出來，卻造不出光刻機？”
核心原因在於，光刻機是橫跨多個學科、產業的最頂級理論、技術與工藝的產物。一台光刻機由十萬多個部件組成，集數學、化學、精密光學、流體力學、精密機械、自動化控制、軟件工程、圖像識別、電子電路等領域的頂尖技術於一身。一旦其中一項技術出現瓶頸，光刻機就無法面世。
縱觀全球光刻機市場，荷蘭公司ASML是當之無愧的霸主。2020年，ASML佔據全球EUV光刻機出貨的100%，佔全球DUV光刻機出貨的62%，剩下的份額由尼康和佳能瓜分。但即使是一家獨大的ASML，也無法獨立製造光刻機，90%的零件都由其它廠商提供。例如，光源技術是美國的、光學設備是日本的、軸承是瑞典的、閥件是法國的、機械工藝和蔡司鏡頭是德國的。
國際環境造成的影響同樣不可忽視。根據瓦聖納協議，ASML出口EUV光刻機到中國，需要取得荷蘭政府的出口許可。這也導致國內半導體龍頭中芯國際於三年前，斥資1.2億美元向ASML訂購的一台EUV光刻機，至今遲遲無法得到交付。
欣慰的是，在攻克光刻機的這條荊棘之路上，華卓精科正迎來越來越多的同行者。
成立於2002年的上海微電子裝備集團，正在全力追趕ASML。資料顯示，上海微電子擁有3200項直接持有專利和專利申請，完全掌握了先進封裝光刻機、高亮度LED光刻機等技術。今年7月20日，由上海微電子交付的首台國產封裝光刻機，正式入駐青島新芯科技工廠，年產能可達到36萬片晶圓，而工藝製程最高可達65nm。與此同時，預計在今年底，上海微電子將正式交付首台28nm工藝製程國產光刻機，實現28nm工藝芯片純國產化，並在明年突破14nm工藝芯片純國產化。
與此同時，VC/PE們紛紛都在行動。早在2019年10月，第二期國家集成電路產業投資基金註冊成立，規模超過2000億元。與大基金一期投資範圍不同的是，大基金二期將重點投資半導體設備及材料，包括光刻機、蝕刻機、大硅片、光刻膠等等。不久前，國產光刻膠公司南大光電前獲得大基金二期1.83億元投資，該公司研發的新一代ArF光刻膠也有望用於14/7nm工藝。
華為也出手了。今年6月，華為旗下哈勃投資入股了北京科益虹源公司，占股4.76%，為第七大股東。值得關注的是，北京科益虹源由中科院微電子所控股，是一家光刻機核心零部件公司，主要產品為DUV（深紫外）光刻光源產品系列，國內首台高能準分子激光器就出自其手。
這將是一場漫長的征途。正如元禾璞華管理合伙人陳大同所言，像半導體這種硬科技項目需要付出時間去研發，不能指望一兩年短時間的爆發，即便上市最快也需要五年左右，因此所有人都應該抱着“十年磨一劍”的心態去參與。