根據Intel之前公布的路線圖，Intel 4工藝會是他們首個使用EUV光刻機的工藝，下半年量產，他們從ASML購買的EUV光刻機現在正式開始在愛爾蘭的工廠安裝，這是Intel第二個、歐洲首個EUV工藝晶圓廠。
Intel前幾年就在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠投資70億美元升級，主要是為Intel 4工藝準備的，原先該工藝是7nm，去年改名之後就等效於其他廠商的4nm EUV工藝了，也是Intel首個使用EUV光刻機的工藝。
今年1月底，Intel就在Fab 34晶圓廠安裝了光刻膠顯影設備(lithography resist track)，不過它還不是真正的EUV光刻機，現在才開始安裝EUV光刻機，要為下半年的量產做準備了。
根據Intel公布的視頻，目前約有100多名ASML的工程師進駐工廠協助安裝，同時Intel也從美國俄勒岡州的工廠中派來了工程師培訓愛爾蘭當地的員工，教導他們使用EUV光刻機。
Intel沒有公布這款光刻機的具體型號，不過ASML最新的EUV光刻機超級貴，均價10億元左右，先進工藝晶圓廠的投資都是幾十億美元甚至上百億美元級別的。
Alder Lake 12代酷睿、Raptor Lake 13代酷睿都是Intel 7工藝(10nm ESF)，Meteor Lake 14代酷睿和代號Granite Rapids的下下代至強都將用上Intel 4工藝，今年下半年就要量產，不過14代酷睿上市還要到2023年。
