與台積電、三星相比，Intel這幾年在半導體工藝上放慢了腳步，這裡面原因有很多，不過一個重要因素就是Intel一直認為EUV光刻工藝不成熟，他們追求的是在沒有EUV光刻機的情況下開發7nm甚至5nm工藝，結果耽誤了時間。
面對對手在EUV光刻上的領先，Intel現在也加快腳步了，原先叫做7nm的節點現在改名為Intel 4，這是Intel第一個使用EUV光刻機的工藝。
日前在接受媒體採訪時，Intel邏輯工藝開發總經理Sanjay Natarajan確認，Intel已經確認EUV光刻工藝可以達到用於生產的地步，Intel也會迅速轉向該工藝，EUV可以簡化很多工藝流程，將30步工藝減少為3步操作，降低了出錯的可能。
Sanjay Natarajan確認，Intel第一代EUV光刻的處理器會在2023年出貨，桌面版是Meteor Lake，服務器端則是Granite Rapids處理器。
Meteor Lake處理器大家很熟悉了，這就是2023年要發布的14代酷睿，除了EUV工藝之外，還會使用先進的3D封裝，分為多個模塊，其中CPU計算模塊的IP已經tape in，今年底或者明年初應該就流片了。
