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品玩9月28日訊，據 IT 之家報道，ASML 首席技術官 Martin van den Brink 日前表示，ASML 正在準備向客戶交付首台 High-NA EUV 光刻機，大概會在明年某個時間點完成。
Brink 表示， ASML 正有序推行其路線圖，在 EUV 之後是 High-NA EUV 技術。High-NA EUV 光刻機會比現有的 EUV 光刻機更為耗電，從 1.5 兆瓦增加到 2 兆瓦。主要原因是因為光源，High-NA 使用了相同的光源需要額外 0.5 兆瓦，ASML 還使用水冷銅線為其供電。
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