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據東方晶源發布，近日，東方晶源首台 8 英寸關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）出機國內集成電路製造和整體方案提供商燕東微電子。自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD-SEM 出機后，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展。
東方晶源首台 8 英寸關鍵尺寸量測設備（型號：SEpA-c300）基於東方晶源 12 英寸關鍵尺寸量測設備的技術積累，面向 90nm 以上技術節點的成熟工藝。具有對標 12 英寸主流設備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產品線、多種應用場景下的量測需求。以關鍵尺寸量測設備為例，目前市場上流通的 8 英寸設備絕大多數是二手翻新設備，具有性能指標不高及設備穩定性差等問題。東方晶源旨在解決些問題。
電子束檢測（Electrons Beam inspection，簡稱E-beam inspection、EBI），用於半導體元件的缺陷(defects)檢驗，以電性缺陷(Electrical defects)為主，形狀缺陷(Physical defects)次之。
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