EUV光刻機是半導體製造中的核心設備，只有ASML公司才能生產，單台售價約10億人民幣，之前三星、台積電等公司還要搶着買，然而今年半導體形勢已經變了，EUV光刻機反而因為耗電太多，台積電計劃關閉省電。來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱，由於先進製程產能利用率開始下滑，而且評估之後下滑時間會持續一段周期，台積電計劃從年底開始，將部分EUV 設備關機，以節省EUV設備巨大的耗電支出。
據了解台積電目前擁有大約80台EUV光刻機，主要用於7nm、5nm及以下的先進工藝，今年9月份還會量產3nm工藝，都需要EUV光刻機，然而隨着PC、手機、顯卡等產品的需求下滑，先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。
蘋果今年的iPhone 14 Pro系列的A16處理器也沒有急着上3nm工藝，還在用4nm工藝，此外蘋果還因為3nm能效問題，取消了初代3nm生產芯片的計劃。
相比之前的DUV光刻機，EUV光刻機需要使用高能激光器，而且光線會多次折射導致損耗極大，早期效率只有0.02%，現在量產的說是可以達到2%效率，但也意味着絕大多數電力都要消耗掉。
EUV光刻機生產一天需要3萬度電左右，一年耗電大約1000萬度，是十足的電老虎。