據彭博社報道，ASML新一代EUV每台耗電約1百萬瓦，三星、台積電等芯片製造大廠能源消耗巨大；台積電對化石燃料高度依賴，2025年耗能估佔中國台灣省的12.5%。世界僅此一家的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV光刻機耗資高達1.5億美元，包含10萬個部件和長達2公里的布線。
EUV光刻機體現着更先進芯片的製造過程正變得複雜和能源密集。ASML當前每台EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代設備的10倍，但由於沒有替代品來製造最先進的半導體，芯片行業可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。
台積電為業界擁有最多EUV光刻機的公司，公司目前已有超過80台EUV，新一代設備還在安裝中。預計到2025年，僅台積電一家公司就將佔全中國台灣省整體能源消耗的12.5%，遠高於2020年時的6%。
對於芯片製造的能源消耗問題，環保組織綠色和平（Greenpeace）氣候能源項目主任鄭楚忻曾表示，缺電必然發生，其他行業將受其牽連。比利時微電子研究中心（Imec）Lars-AkeRagnarsson指出，在使用高耗能設備的芯片廠，再生能源變得緊急且必要。
韓國芯片製造巨頭三星也面臨著類似的能源消耗問題。三星在韓國擁有六個半導體製造基地，2021年占其功耗的3%。
對於這樣的說法，台積電錶示，公司持續推進半導體高階製程技術，生產更先進、更具能源效率及更環保的產品，其還在積極投入綠色製造，落實節能減碳相關作為，包括致力優化製程能源使用效率，同時和機台設備商合作開發新的節能行動方案。
按照該公司引述2020年工研院產業科技國際策略發展所（ISTI）模型推導分析結果，稱台積電每使用1度生產用電，能為全球減省4度電。
