國產刻蝕設備商沖科創板：已打入5nm邏輯芯片量產線

芯東西6月26日報道，昨天，半導體設備廠商北京屹唐半導體科技股份有限公司（以下簡稱屹唐股份）申報科創板IPO獲受理。屹唐股份主營業務為干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備等集成電路製造設備及配套工藝解決方案，去膠、熱處理和刻蝕都是晶圓加工的重要環節。

作者 | 高歌

編輯 | 心緣

▲集成電路前道芯片製造工藝流程

根據美國市場分析公司Gartner的數據，2020年屹唐股份干法去膠設備、快速熱處理設備的市場佔有率分別位居全球第一、第二。

屹唐股份的主要經營主體為美國半導體設備廠商Mattson Technology Inc.（MTI）。MTI原為美國納斯達克證券交易所上市公司，2016年屹唐股份完成其私有化收購，MTI從美股退市。

目前，MTI主要承擔屹唐股份干法去膠設備、快速熱處理設備、干法刻蝕設備的研發、製造、銷售等職能。

▲屹唐股份下屬子公司、分公司架構圖

報告期內，屹唐股份營收呈增長趨勢，2018年-2020年營收分別為15.18億元、15.73億元和23.13億元。

屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導體產業投資中心（有限合夥），間接控股股東為亦庄產投和亦庄國投，均為國資背景。屹唐股份的實際控制人則為財政審計局。

本次IPO，屹唐股份計劃發行股份不超過46941萬股，擬募集資金30億元，用於“屹唐半導體集成電路裝備研發製造服務中心”、“屹唐半導體高端集成電路裝備研發”以及“發展和科技儲備資金”3個項目。

▲屹唐股份股權結構圖

一、年營收23億，設備銷售佔7成

根據招股書，屹唐股份2018年-2020年複合增長率為23.41%，2020年度營業收入較2019年同比增長46.96%。該公司2018年、2019年、2020年營收分別為15.18億元、15.73億元和23.13億元。

凈利潤方面，屹唐股份2019年變化幅度較大，其2018年-2020年凈利潤分別為2395.83萬元、-8813.98萬元和2476.16萬元。招股書顯示，2019年屹唐股份凈利潤為負主要是因為其北京製造基地當年建成投產，此後屹唐股份盈利情況得到改善。

▲屹唐股份2018年-2020年營收及凈利潤變化

屹唐股份的營收按照產品構成可分為四種類型，為專用設備銷售、備品備件、服務和特許權使用費。

其中，專用設備銷售包括干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備3類，是屹唐股份的主要收入來源。2020年專用設備銷售金額達16.93億元，佔總營收比例為73.23%。截至2020年末，屹唐股份專用設備累計裝機數量超過3700台。

▲屹唐股份2020年個主營業務收入佔比

就地區來說，境外企業採購金額占屹唐股份比例較高，但其中國大陸地區銷售收入逐年增長。2020年中國大陸已成為屹唐股份收入最多的地區。

2020年，屹唐股份在中國大陸、韓國、中國台灣、日本、歐洲、美國、新加坡等國家和地區營收佔比分別為42.12%、23.66%、15.50%、6.00%、5.23%、4.33%和3.04%，其他國家和地區總計收入佔比為0.12%。

二、前五大客戶名單未給出，日本Rorze為最大供應商

屹唐股份的主要產品有干法去膠、快速熱處理、干法刻蝕設備，主要的客戶群體為台積電、三星電子、中芯國際、長江存儲、格芯、美光、SK海力士等半導體廠商。

屹唐股份的銷售模式可分為直銷及經銷，其絕大部分銷售直接面對終端客戶，屹唐股份在日本市場則通過佳能營銷公司進行經銷。

值得一提的是，屹唐股份並未給出其前五大客戶具體名稱，只是以客戶A、B、C、D、E、F、G、H替代。

屹唐股份招股書中提到，其間接控股股東亦庄國投持有中芯北方集成電路製造（北京）有限公司5.75%股份，屹唐股份董事也在中芯北方擔任監事。中芯北方則是屹唐股份報告期內的前五大客戶中芯國際的子公司。

報告期內，屹唐股份主要的採購項目較多，主要可分為機械類、電氣類、機電一體類、氣體傳輸系統類、真空系統類、傳感器類、氣動系統類、儀器儀錶類等。

日本電機、半導體設備供應商Rorze Corporation在三年內一直是屹唐股份的最大供應商。

▲屹唐股份前五大供應商名單

三、干法去膠細分領域世界第一，核心技術人員均出自應用材料

根據招股書，屹唐股份的干法去膠設備、快速熱處理設備可用於90nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片；其干法刻蝕設備主要可用於65nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片製造。

近年來，全球集成電路製造干法去膠設備領域呈現多寡頭競爭的發展趨勢，全球干法去膠設備領域的主要參與者包括屹唐股份、比思科、日立高新、泛林半導體、泰仕半導體等。

根據Gartner統計數據，2018年-2020年，干法去膠設備領域屹唐股份分別位於全球第三、全球第二和全球第一的市場地位，市場佔有率逐年提升。

在國內去膠設備市場上，屹唐股份也處於市場領先地位。

據中國國際招標網公開數據統計，2020年，國內存儲芯片製造企業長江存儲通過招投標方式採購的27台去膠設備中，24台由屹唐股份提供，所佔份額達88.89%；中國邏輯電路製造企業華虹集團通過招投標方式採購的11台去膠設備中，10台由屹唐股份提供，佔比達90.91%。

▲2020年全球干法去膠設備市場競爭格局（來源：屹唐股份招股書）

在快速熱處理設備市場中，美國半導體設備巨頭應用材料佔據了絕對領先地位。屹唐股份則以11.50%的市場份額位居第二。

當前，屹唐股份的客戶已覆蓋台積電、三星電子、中芯國際、華虹集團、長江存儲等半導體製造廠商。

▲2020年全球快速熱處理設備市場競爭格局（來源：屹唐股份招股書）

而在干法刻蝕設備市場中，美國應用材料、美國泛林集團和日本東京電子擁有超過90%以上市場份額，國產廠商市場份額較少。事實上，屹唐股份、中微公司和北方華創等是國內少數可以量產刻蝕設備的廠商。

目前，屹唐股份的刻蝕設備已應用於三星電子、長江存儲等存儲芯片製造企業。

▲2020年全球干法刻蝕設備市場競爭格局（來源：屹唐股份招股書）

報告期內，2018年-2020年屹唐股份研發投入占營收比例分別為14.20%、17.75%和16.75%。在這樣的研發投入下，屹唐股份共擁有專利309項。公司研發人員共124人，占員工總數的20.46%。

屹唐股份核心技術人員5人，為屹唐股份董事、總裁兼首席執行官Hao Allen Lu（陸郝安）、副總裁兼首席產品官Schubert S. Chu、副總裁兼首席技術官Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）、MTI等離子體產品事業部成員龍茂林和MTI等離子體產品事業部成員Hua Chung（仲華），這五人都曾在應用材料任職。

其中，Hao Allen Lu、Schubert S. Chu和Michael Xiaoxuan Yang也是屹唐股份的高級管理人員。

具體來說，Hao Allen Lu（陸郝安）為美國弗吉尼亞大學固態物理學博士，1994年2月至1997年7月，任應用材料高級工藝工程師及項目主管；1997年7月至2009年8月，Hao Allen Lu歷任英特爾加州技術製造部主任工程師、技術製造部資深主任工程師、掩膜刻蝕部門負責人、中國區公共事務部總監、技術製造工程部中國芯片廠項目主管等職務；2009年8月至2016年5月，他擔任了SEMI全球副總裁和中國區總裁。

此後，Hao Allen Lu任MTI執行董事兼副董事長、總裁兼首席執行官；屹唐股份收購MTI后，他擔任屹唐有限及MTI董事、總裁兼首席執行官；2020年12月至今，Hao Allen Lu為屹唐股份及MTI董事、總裁兼首席執行官。

Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）1995年於美國哥倫比亞大學表面化學專業畢業，獲博士學位。1995年-1997年Michael Xiaoxuan Yang為美國勞倫斯伯克利國家實驗室研究員；1997年4月，他任應用材料產品部門總經理等職務。

此後，Michael Xiaoxuan Yang在Varian Semiconductor Equipment Associates任職，還創建了Sil Icon Systems公司。2016年，Michael Xiaoxuan Yang任MTI首席技術官；2018年，他擔任屹唐有限首席技術官一職；2020年12月至今，Michael Xiaoxuan Yang任屹唐股份副總裁兼首席技術官。

1999年，Schubert S. Chu於加利福尼亞大學伯克利分校取得博士學位，此後在應用材料任多個技術和管理崗位，並在2017年成為了應用材料EPI產品部門副總裁兼業務發展副總裁。2021年1月至今，他在屹唐股份任副總裁兼首席產品管。

四、財政審計局為實際控制人

屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導體產業投資中心（有限合夥），持有45.05%的公司股份。

屹唐盛龍的執行事務合伙人為亦庄產投，根據其《合夥協議》，亦庄產投對外代表企業，間接控制屹唐股份45.05%的表決權。亦庄國投則持有亦庄產投100%的股權。

需要指出的是，亦庄產投和亦庄國投的法定代表人均為楊永政，其也是屹唐股份董事長。財政審計局則持有亦庄國投100%的股權，為屹唐股份實際控制人。

其他持有屹唐股份5%以上股份或表決權的還有BH1、BH2和寧波義方、海松非凡、環旭創芯和華瑞世紀等。