在三星揚言3納米要搶先台積電，於明年上半年量產之際，業界傳出，台積電正加快3納米量產腳步，有望至少提前一季至明年第2季量產，力抗三星，中砂、家登等台積電相關供應鏈也已經先動起來 … 聯發科執行長蔡明介日前即宣示，與台積電合作緊密，5納米及4納米產品已在量產過程中，3納米會是下一個製程 … 家登極紫外光（EUV）光罩盒目前大多供應給5納米製程應用，法人預期，隨着明年台積電3納米製程量產，相關EUV光罩盒用量也會增長，預估明年家登光罩載具與晶圓載具業績比重可能達6:4。
媒體報道：
21-12-05 CNBeta: 台積電衝刺3納米製程 目前已進入試產階段
21-12-06 鳳凰科技: 台積電正加快3nm量產步伐 高通、AMD或將導入
相關事件：
21-12-05 台積電衝刺3納米製程，目前已進入試產階段
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21-08-10 消息稱台積電3nm製程獲Intel訂單：明年7月量產
21-08-05 台積電已開始安裝3nm製程芯片製造設備
21-06-02 台積電4納米製程技術將於第三季度提前試產
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