據最新消息，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域，入股了由中科院微電子所控股的科益虹源公司 … 企業信息顯示，北京科益虹源光電技術公司日前發生了變化，註冊資金從1.2億元增加到2.02億元，增長68%，主要是投資人多了，其中就有華為旗下的哈勃投資，占股4.76%，成為第七大股東 … 科益虹源的控股股東是中科院微電子所，持股26.6%，主要業務就是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統，是國內第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業。
媒體報道：
21-06-05 鈦媒體: 華為投資光刻機公司，成第七大股東
21-06-05 鳳凰科技: 華為投資光刻機公司 持股約4.76%成為第七大股東
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