ASML 公司近日宣布將會自今年開始,提供透射率超過 90% 薄片的極紫外(EUV)系統。ASML 韓國市場經理 MyoungKuy Lee 在 SMC 韓國研討會上說,該公司將開…
在半導體工藝進入7nm節點之後,EUV光刻機成了關鍵裝備,現在只有ASML一家能夠生產EUV光刻機,主要客戶也只有三家——台積電、Intel及三星。由於供不應求,EUV光刻機也成為…