Intel擴建廠房安裝ASML下代最先進EUV光刻機:“2nm”工藝提前投產

今年3月份,Intel CEO帕特基辛格(Pat Gelsinger)曾在投資交流活動中透露,Intel
18A工藝將比原定時間提前半年投產,現在Intel正用實際行動踐行着承諾。本周,Intel在位於美國俄勒岡的D1X工廠舉辦隆重的Mod3擴建儀式,並將此地命名為戈登摩爾公園(Gordon
Moore Park)。

Intel擴建廠房安裝ASML下代最先進EUV光刻機:“2nm”工藝提前投產

Mod3的說法類似於我們遊戲中所謂的Mod,也就是模塊,實際上,這是Intel為D1X工廠打的第三個MOD“補丁”,也是第二次擴建,投資高達30億美元。

D1X-Mod3的主要工作實際上從去年8月份就開始了,其重大意義在於,為工廠增加了2.5萬平米的潔凈室空間,將D1X擴大了20%,這便為最終足以搬進ASML的下一代最先進高數值孔徑(High NA)EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200 EUV創造必要條件。

Intel擴建廠房安裝ASML下代最先進EUV光刻機:“2nm”工藝提前投產

和服務Intel 3/4工藝的NXE 3000系列EUV光刻機相比,EXE 5200大了很多,突破了D1X原“天花板”。

回到18A工藝製程,提速后,最快可以在2024年三季度登場。

關於18A,簡單解釋下。其實按照Intel之前多年“老實”的命名習慣,其對應5nm+。但由於對手台積電、三星早就破壞了晶體管尺度定義規範,Intel索性也下場“肉搏”了。外界傾向於認為,18A對應18埃米,也就是1.8nm,對標的是台積電2nm。

修訂后的Intel最新工藝路線圖如下:

Intel擴建廠房安裝ASML下代最先進EUV光刻機:“2nm”工藝提前投產

可以看到,今年開始到2024年,Intel的製程迭代將會非常緊湊,下半年會有第一代大規模使用EUV的Intel 4(原7nm),明年下半年則是最後一代FinFET晶體管的Intel 3(原7nm+)。

2024年會全面進入基於環繞柵極晶體管技術的RibbonFET晶體管時代,同時還有Intel獨創的PowerVia背面電路,首發是Intel 20A(原5nm),名義2nm。

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Intel新老工藝命名及指標整理,供參考

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