這一年多來，全球半導體產能緊張，台積電等芯片製造公司也在積極擴大產能，光刻機之類的設備很搶手，在這個關鍵時刻，全球光刻機一哥ASML的工廠發生火災，目前損失還在評估中。據報道，ASML公司在德國柏林的工廠突然發生了火災，目前可以確認沒有人員傷亡，但具體的損失情況還不確定。
ASML公司在給媒體發布的聲明中指出，評估損失需要幾天時間，現在就提出是否影響今年業績或者就損害索賠等問題還為時尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購了這家公司，後者主要為ASML光刻機製造光學系統，這是光刻機的三大核心部件之一。
2021年10月底，ASML發布了Q3財報，凈銷售額52億歐元（約合386億元），毛利率51.7%，凈利潤17億歐元（約合126億元）。官方預計四季度銷售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。
ASML稱，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那裡也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率。
DUV（深紫外）光刻機方面，完成出貨1000台ArF（氟化氬浸沒式光刻系統），這距離第一台浸沒式光刻機（XT:1700Fi）出貨過去了15年。