光刻可以說是半導體製造中最重要的一步。今天最先進的 EUV 光刻機是極其複雜的機器，其成本與一架新的波音噴氣式客機一樣高。從 1984 年與飛利浦的合資企業開始，ASML 已經發展成為世界第二大芯片設備製造商，也是 EUV 機器的唯一供應商。
事實上，美國可以說是光刻技術的發明者，在本文中，我們將就他們為何發明了光刻技術，卻最終沒有光刻機就行簡要分析。
需要提一下，本文分析思路是基於對飛兆半導體、David W Mann Co、Cobilt、GCA、尼康和硅谷集團 (SVG) 等先驅的採訪。
早在 1950 年代中期，貝爾實驗室就開始嘗試將圖像打印到硅片上。那十年後期，飛兆半導體改進了工藝以製造晶體管。
“我們決定使用光刻膠來描繪這些區域，”仙童最初的八位聯合創始人之一傑伊·拉斯特和鮑勃·諾伊斯說。
“貝爾實驗室在那裡做了一些努力，並認為這是不可能的，所以他們從未追求過這個方向。鮑勃 [諾伊斯] 和我與柯達合作，他們給了我們當時最好的光刻膠，我們逐漸與他們建立了工作關係，光刻膠不也斷改進。”
“雖然在此過程中有很多技術問題和技術挫折，但我們只是說我們要使用它，我們必須讓它發揮作用——我們做到了。”
在 1960 年代，接觸掩模對準器（contact mask aligners ）被用於晶圓印刷，Kulicke & Soffa率先將其商業化。後來，Kasper Instruments 成為主要供應商，但當三位前 Kasper 工程師成立自己的公司 Cobilt 時——該公司於 1972 年被波士頓 CAD 巨頭 Computervision 收購——出現了一種新的晶圓印刷範式。
“Cobilt 製造了機械對準器（mechanical aligners），該對準器以符合當時標準的先進技術打印半導體硅片。並且 Computervision 有一個自動對齊包，可以讓你更精確地對齊層，“Sam Harrell 說，他從 Computervison 搬到西海岸，成為 Cobilt 的工程副總裁。
“我們在世界各地銷售了數百台機器。直到投影打印機佔據主導地位之前，它才是霸主。”
在加入 Cobilt 之前，曾在 Kasper 銷售矯正器的 Ed Segal 在Perkin-Elmer 開發出projection mask aligner后，目睹Cobilt 如何失去領先地位。
“當掩模對準器從接觸掩模對準器進入到所謂的投影對準器（projection mask aligner）或將掩模圖像投影到晶圓上時，Perkin-Elmer 完全進入並佔領了這個市場，”Segal說. “Cobilt 試圖建造一個，但它確實是一個非常大的失敗。1981 年，該公司最終被賣給了應用材料公司。”
Jim Gallagher 在 GCA 經營半導體設備業務，GCA 在 1980 年代將市場割讓給日本公司之前是光刻領域的全球領導者。在尼康和佳能等日本供應商成為市場領導者之後公司的最終滅亡。
“我們開始盡我們所能出售業務。但是當你走下坡路的時候，可以這麼說，這不是開始銷售的時候，因為你所做的是，每個人都知道你的問題，他們會給出最低、最低的價格。所以那是我們幻燈片的開始，”Gallagher說。
到 1980 年代後期，日本步進供應商的主導地位讓美國芯片製造商感到擔憂。為了開發替代來源，英特爾與歐洲公司 Censor 合作。然而，嘗試失敗了，Censor 於 1984 年被賣給了 Perkin-Elmer。
英特爾聯合創始人戈登摩爾回憶了當時的擔憂。“來自佳能和尼康步進機性能很好。在美國沒有可比的設備，這是整個過程中非常關鍵的部分。”
“我們與列支敦士登的一家公司 [Censor] 有一個重要的計劃來製造步進器。這非常複雜也非常昂貴，而且開發速度太慢，他們無法真正對市場產生影響。我們最終購買了日本設備，因為它是最好的，而且沒有真正的替代來源。”
Shoichiro Yoshida 後來成為尼康的首席執行官，他設計了該公司第一台用於半導體製造的步進重複機器。
1990 年代，SVG 在新任命的首席執行官 Papken Der Torossian 的領導下擴展到光刻領域。SVG 曾試圖收購 GCA，但交易從未實現，GCA 於 1988 年被出售給 General Signal。
然而，Der Torossian 成功地獲得了由 Perkin-Elmer 與 IBM 聯合開發的下一代步進掃描系統 Micrascan——但他表示，這需要數千萬的研發和兩年半的時間才能完成。修復系統中的錯誤。結果是 Micrascan II。
“他們的機器無法工作——平均故障間隔時間不到一小時。IBM 無法使用它。但它擁有非常好的基礎技術，”他說。
Der Torrossian 解釋道，現金短缺讓美國喪失了保留先進光刻技術的機會。
“在 1992 年，ASML 正在大規模投入。擁有它們的飛利浦找我，並以 6000 萬美元的價格出售 ASML。我沒有 6000 萬美元。我告訴他們，但我會給你同等數量的股份，讓我們建立一個合資企業。但他們說，‘不，飛利浦需要現金。’”
到 2001 年，ASML 扭轉了局面，最終以 16 億美元收購了美國最後一家主要的光刻公司 SVG。由於國家安全問題，這筆交易被推遲了幾個月，但在 ASML 同意剝離 SVG 的 Tinsley Labs 部門后，最終得到了喬治·W·布什政府的批准。
