日本半導體製造設備大型企業東京電子（Tokyo Electron）6月8日發布計劃稱，將向同行業的荷蘭ASML和比利時的研究機構IMEC聯合運營的實驗室供應新一代設備 … 東京電子將提供在半導體晶圓上塗布感光劑使之顯影的“塗布顯影設備” … 該設備將與ASML生產的屬於尖端光刻設備的“EUV（極紫外）光刻設備”的新一代產品進行組合。
媒體報道：
21-06-10 鈦媒體: 東京電子將向ASML提供面向新一代EUV的設備
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