半導體AMHS設備供應商“彌費科技”獲數億元B輪融資

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近日,36氪獲悉,彌費科技完成數億元B輪融資,本輪融資由通用技術高端裝備產業基金領投,海通創新證券、博將資本跟投,A輪領投方啟明創投繼續跟進投資,雲岫資本擔任獨家財務顧問。

據悉,本輪融資主要有三個用途,一是持續加碼AMHS研發;二是擴大生產規模;三是海外市場拓展。

彌費科技是一家半導體設備及零部件供應商,主要生產、研發、銷售適用於半導體晶圓廠的自動物料傳送系統AMHS(Automated Material Handling System)。公司成立於2014年,總部位於上海,海外子公司位於新加坡,生產基地位於上海臨港新片區,一期2000平工廠已投入使用,二期8000米廠房將于于2022年底投入使用。

AMHS是能夠直接影響半導體晶圓廠中物料運轉產能績效的核心繫統之一,它由十多個硬件設備和調度這些硬件設備的軟件系統(MDS)組成,其中硬件設備根據功能可歸類為傳輸設備、存儲設備、凈化設備。在一座月產能4萬片,28nm工藝節點的全自動晶圓廠中,每天有數十萬條晶圓盒傳送任務,通過部署AMHS系統提高生產效率成為先進工藝晶圓廠大規模量產的優先選擇。

彌費科技創始人兼CEO繆峰告訴36氪,彌費科技是目前國內唯一一家能提供成套半導體晶圓廠AMHS的中國供應商。產品包括傳送設備(天車OHT、協作式機器人AMR)、存儲設備(Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHB&OHB-Purge)、凈化設備(TLP、FPS)等10多個AMHS硬件設備及MCS(調度軟件)。

半導體AMHS設備供應商“彌費科技”獲數億元B輪融資

彌費科技產品

在硬件產品上,AMHS硬件系統由具備傳送、存儲、凈化不同功能的十多種設備組成,每一個設備在進入晶圓廠前都需花時間打磨以滿足晶圓廠無塵室的生產條件和產品行業標準。比如滿足相應的SEMI通訊協議,確保AMHS設備和晶圓廠其他設備、軟件連接;需要滿足半導體工廠潔凈室的潔凈度等級的要求;傳送設備在運轉過程中,需要符合震動幅度標準。設備與MES一類上層系統的互聯,讓MES能了解運輸設備上每一個產品的位置,進行整個工廠的運維調度。

在軟件產品上,調度系統是AMHS硬件產品正常運轉的核心,起着自動調度、運轉晶圓廠內不同批次晶圓產品在生產設備間流轉的作用,對調度的精確性和流程的穩定性要求較高,如果物料運送錯誤 ,會出現極大浪費。彌費科技自研的天狼星調度系統,該系統的原理不同於以往國外廠商以權重作為路徑選擇的方案,能用更少的硬件資源完成相同傳送體量,節省10%以上的硬件設備成本。

繆峰告訴36氪,12英寸晶圓廠中一套完整的AMHS占晶圓廠固定投資的3%左右,這意味着,一座超大規模量產的半導體工廠AMHS需要投資數千萬美元甚至數億美元,而中國每年有着40-50億的市場需求。國際半導體產業協會SEMI報告顯示,到2022年全球半導體製造商將新建29座晶圓廠 。

在問及競爭優勢時,繆峰表示,彌費科技有着先發優勢和人才優勢兩大核心競爭力。

疫情下全球對響應性客戶服務的需求,為國產AMHS產品提供了一個進入機會,為彌費科技的發展提供了極大的助力。自2017年起,彌費科技產品陸續進入國內外一線晶圓廠客戶完成驗證、小批量交付及部分產品的大批量交付,2021年彌費自研3.0版本的天車收到國內知名晶圓廠訂單。此前適用於半導體晶圓廠潔凈室的OHT天車技術一直被海外巨頭壟斷,彌費科技OHT的研發填補了半導體國產替代這一環節的技術空白。目前,彌費科技AMHS產品已進入全球前五大晶圓代工廠中的四家晶圓代工廠。

繆峰表示,彌費科技在AMHS產品研發上有着3~4年的先發優勢,對於AMHS公司而言,先發優勢是一個重要的競爭壁壘。AMHS產品佔到整個工廠投資的3%~5%,從替換成本角度出發,晶圓廠會更願意選擇有更多實戰案例的廠商。”

“人才壁壘也是公司一大重要優勢,”繆峰表示:“AMHS作為半導體產業的細分領域,國內人才缺口較大,在專業團隊組建上存在難度。”成立於2014年的彌費科技,擁有一支高效且磨合多年的核心團隊,成員均來自於國內外一線集成電路晶圓廠和半導體設備公司,對於半導體晶圓廠的運作以及相應的自動化生產系統有着10年以上第一手的豐富從業經驗。2022年初彌費科技員工達到140餘人,研發團隊佔比保持35%、實施團隊佔比30%,公司計劃在2022年第二季度達到220+人團隊規模,新加坡子公司佔10%左右。

對於下一階段的發展,繆峰表示:“彌費科技始終以致力於成為具有全球影響力的半導體設備及核心零部件供應商為企業願景,下一階段目標是交付更多的半導體晶圓廠AMHS整廠系統,從實戰中迭代優化產品,提高市場佔有率及加速全球化擴張。”

根據晶圓廠大客戶未來三年建廠的規劃,2023年-2024年,彌費業績將持續保持200% – 300%的增長,提前備貨將成為企業常態。同時隨着交付的不斷擴大,對於產品生產的產能及良率控制,也將是本輪融資后的重要投入部分。

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