ASML稱，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創下歷史新高 … ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那裡也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率 … DUV（深紫外）光刻機方面，完成出貨1000台ArF（氟化氬浸沒式光刻系統），這距離第一台浸沒式光刻機（XT:1700Fi）出貨過去了15年。
媒體報道：
21-10-20 鳳凰科技: ASML三季度業績激增：EUV光刻機出貨量刷新紀錄
事件追蹤：
21-10-20 ASML三季度業績激增：EUV光刻機出貨量刷新紀錄
21-07-21 ASML首台全新極紫外光刻機已完成交付
21-06-11 東京電子將向ASML提供面向新一代EUV的設備
21-05-17 全球光刻機龍頭ASML將赴韓國建EUV設備再制廠及培訓中心
21-04-21 光刻機製造商ASML Q1營收43.64億歐元，同比增長79%
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