台積電錶示該事件造成的影響十分輕微，氣體被污染的主要原因是，氧氣中被混入了惰性氣體氬氣（Ar2） … 法人認為，這起氣體污染事件，將不影響台積電 8 月營收表現，也不會幹擾蘋果新一代 A15 Bionic 處理器的生產 … IT之家此前報道，在台積電 18a 工廠的氣體出現污染后，該公司便緊急調度廠區的氣體供應，以保證芯片生產繼續作業。
媒體報道：
21-08-09 鳳凰科技: 台積電18a工廠氣體污染原因揭曉：氧氣中被混入氬氣 對生產無影響
事件追蹤：
21-08-09 台積電18a工廠氣體污染原因揭曉：氧氣中被混入氬氣 對生產無影響
21-08-05 台積電已開始安裝3nm製程芯片製造設備
21-07-30 台積電晶圓廠突發事故，芯片正常生產
21-06-18 消息稱台積電計劃在2022年下半年為蘋果供應3nm芯片
21-05-14 台積電或擴大美國投資，管理層已制定2nm芯片計劃
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