台積電作為ASML光刻機的最大客戶也回應了此事，他們表示不擔心會對2022年生產有什麼影響 … 至於ASML，根據他們之前的信息，雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產，DUV光刻機不受影響 … EUV光刻機是生產7nm以下工藝的關鍵設備，ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商，每台售價1億歐元，將近10億人民幣，去年交付了35台EUV光刻機，今年計劃交付55台EUV光刻機，三星、台積電及Intel是主要的客戶。
媒體報道：
22-01-17 CNBeta: 台積電：不擔心影響ASML光刻機工廠火災 EUV產能繼續推進
22-01-17 鳳凰科技: ASML光刻機工廠發生火災 台積電：不擔心影響 EUV產能繼續推進
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