英特爾愛爾蘭Fab 34芯片製造工廠迎來首台EUV光刻機

上周,芯片巨頭英特爾在位於愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠,完成了首台極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前,該公司才開始在該晶圓廠安裝首台芯片製造設備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)製造的這台 EUV 光刻機,先是被運到了美國俄勒岡州的 Hillsboro,接着又被轉運到了歐洲。

英特爾愛爾蘭Fab 34芯片製造工廠迎來首台EUV光刻機

視頻截圖(來自:Intel Ireland)

目前尚不清楚英特爾為何要讓這台機器繞地球這麼一大圈,一種猜測是英特爾在俄勒岡州進行了早期檢測、以確保光刻機符合該公司的嚴格要求。

此外預計這台機器是安裝在愛爾蘭 Fab 34 工廠中的第一台 EUV 光刻機,並作為英特爾 7nm(Intel 4)工藝技術的關鍵推動者。

Leading edge technology lands in Leixlip(via)

據說這套設備總共動用了 4 架未知型號的波音飛機來空運,然後由 35 輛卡車陸運至 Fab 34 。

最後,英特爾官方透露,自去年 12 月以來,這些“工具”已分批發送,但直到最近才完成組裝。

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