作為全球最大的晶圓代工廠，台積電在先進工藝及產能兩方面都是NO.1優勢，所以不愁訂單，僅僅是EUV光刻機就拿下全球50%的份額，隨着蘋果A15、M1X、M2以及AMD Zen4芯片陸續量產，EUV產能也要爆發了。
台積電從7nm開始使用EUV工藝，不過7nm EUV工藝產能較低，只有華為麒麟990大規模使用了，蘋果A13還是7nm增強版工藝。
從5nm工藝開始，台積電先進工藝全線使用EUV工藝，而且利用程度加深，明年還有3nm工藝，會進一步利用EUV光刻。
由於EUV光刻機一台售價高達1-1.5億美元，高端型號更高，綜合下來差不多要10億人民幣一台，台積電的投資也開始增加，今年資本開支就要提升到300億美元，接下來的三年總計投入1000億美元。
砸錢、砸設備之後，台積電的EUV產能今年下半年開始爆發，今年5nm產能將是2020年的兩倍以上，2023年5nm及改進版的4nm工藝產能則是2020年的4倍以上。
今年的5nm工藝量產的主要是蘋果A15移動處理器，還有M1X、M2電腦處理器，聯發科的下一代旗艦芯片天璣2000系列，明年還會有AMD的Zen4處理器加入，訂單充足。
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